Calculateur de l'impact du traitement sur la planéité

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Planéité de surface avant traitement, SF1 (ondes):

Longueur d'onde pour la spécification de planéité (nm):

Épaisseur substrat, t_s (mm):

Diamètre du substrat, D (mm):

Matériau du substrat:

Type de traitement:

Technologie de traitement utilisée:

Planéité de surface après traitement (PV), SF₂ (ondes): --

Variation en pourcentage de la planéité de surface: --

Remarque : Suppose un traitement sur une seule face.

Équations et légende correspondante: $$ R = \frac{1}{6} \left( \frac{\left( \frac{E_s \times t_s ^3}{1 - v_s} \right ) + \left( \frac{E_c \times t_c ^3}{1 - v_c} \right )}{\sigma \times t_c \times \left( t_c + t_s \right )} \right )$$ $$ \text{SF}_2 = \text{SF}_1 \left[\text{waves} \right] \times \frac{\text{SF}_1 \left[ \large{ \unicode[Cambria Math]{x03BC}} \normalsize{\text{m} } \right ]}{\text{SF}_1 \left[ \large{ \unicode[Cambria Math]{x03BC}} \normalsize{\text{m} } \right ] + \frac{D^2}{8R}}$$ $$ \% \text{Change} = 100 \% \times \left | \frac{\text{SF}_1 - \text{SF}_2}{\text{SF}_1} \right | $$

R	Rayon de courbure (µm)
D	Diamètre du substrat (µm)
E_s	Module d’élasticité du substrat (Pa)
E_c	Module d’élasticité du traitement (Pa)
t_s	Épaisseur du substrat (µm)
t_c	Épaisseur du traitement (µm)
v_s	Coefficient de Poisson du substrat (sans unité)
v_c	Coefficient de Poisson du traitement (sans unité)
σ	Contrainte de traitement (MPa)
SF₁	Planéité de surface avant traitement (ondes ou µm)
SF₂	Planéité de surface après traitement (ondes ou µm)

Le calculateur est basé sur les hypothèses suivantes :

Les propriétés mécaniques des matériaux de traitement sont calculées en moyenne à partir des valeurs volumiques du matériau.
La contrainte de traitement pour une technologie de traitement particulière est approximée à partir de données historiques.
La déformation induite par la contrainte est supposée être sphérique.
Il est supposé que R >> D

Description

De nombreuses technologies modernes de traitement optique, telles que la pulvérisation magnétron et le traitement par pulvérisation ionique, impliquent le dépôt de matériaux à haute énergie. Bien que ces techniques permettent de créer des traitements présentant des avantages distincts, elles peuvent transmettre une quantité importante de contraintes au traitement et au substrat. Cette contrainte peut entraîner des problèmes de planéité de la surface et avoir un impact sur l'erreur de front d'onde transmis ou réfléchi des optiques traitées.

Ce calculateur donne une approximation de l'impact de la contrainte induite par le traitement sur la planéité de la surface d'une optique traitée.