La rugosité de la surface, ou erreur à haute fréquence, est une mesure des irrégularités, ou de la qualité du polissage de la surface d'une optique. La rugosité de la surface peut avoir un effet sur la diffusion et la capacité à résister à une puissance laser élevée sur la surface. Les surfaces rugueuses ont tendance à s'user plus rapidement que les surfaces lisses et peuvent ne pas convenir à certaines applications, en particulier celles utilisant des lasers ou une chaleur intense, en raison des sites de nucléation possibles qui peuvent apparaître dans de petites fissures ou imperfections. Les tolérances de fabrication pour la finition de la surface vont de 50Å RMS pour une qualité typique, 20Å RMS pour une qualité de précision et 5Å RMS pour une haute qualité.
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