Un type de spécification de précision de surface qui mesure la déviation d'une surface plane telle que celle d'un miroir, d'une fenêtre, d'un prisme ou d'une lentille plane. Cet écart peut être mesuré à l'aide d'un plan étalon. Les écarts de planéité sont souvent mesurés en valeurs d'ondes (λ), ou en multiples de la longueur d'onde de la source lumineuse de test. Chaque frange correspond à la ½ d'une onde. La planéité 1λ est considérée être un indice type, la planéité λ/4 un indice de précision et la planéité λ/20 un indice de haute précision.
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