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Miroirs Plans Ultraviolets Extrêmes (UVE)

Extreme Ultraviolet (EUV) Flat Mirrors

Réflexion maximale atteignable à 13,5 nm
Conçus pour diriger le faisceau UVE et séparer les harmoniques
Disponibles en versions angle d'incidence (AOI) de 5° et 45°

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Les Miroirs Plans Ultraviolets Extrêmes (UVE) TECHSPEC^® sont des miroirs multicouches conçus pour apporter la réflectivité maximale pouvant être atteinte à la longueur d’onde et l’angle d’incidence de conception. Ces miroirs présentent un traitement déposé sur un substrat de silicium monocristallin superpoli et une rugosité de surface inférieure à 3Å RMS. Les miroirs à AOI de 45° se révèlent utiles pour diriger les faisceaux polarisés S tandis que les miroirs à AOI de 5° peuvent être utilisés avec des faisceaux non polarisés. Les applications portant sur les miroirs UVE comprennent l’Imagerie par Diffraction Cohérente (Coherent Diffractive Imaging, CDI) et la recherche en science des matériaux. Les Miroirs Plans Ultraviolets Extrêmes (UVE) TECHSPEC peuvent également servir de sélecteurs harmoniques pour les faisceaux à Génération d’Harmoniques d'Ordre Élevé (High Harmonic Generation, HHG).

Remarque: Les données de test d'un échantillon sont incluses pour chaque cycle de production de miroirs.