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Les Plateaux de Positionnement Piézo utilisent des moteurs piézoélectriques qui permettent d'effectuer une course de résolution de l'ordre du submicron dans des applications nécessitant un positionnement parfaitement précis. Ils présentent des conceptions "collé-glissé" qui élargissent entièrement l'élément piézo pour conduire le plateau le long de son axe de course sans sacrifier la précision ou le déplacement sur tout le long du plateau. Ils possédent également des codeurs embarqués pour maintenir la reproductibilité. Les plateaux de positionnement linéaires sont capables de se déplacer jusqu'à 2 mm par seconde avec une course totale de plus de 51 mm. Le plateau rotatif, qui utilise deux roulements à billes en acier pré-chargés, est capable de tourner à plus de 6° par seconde sur une course illimitée et possède une grande force de blocage.
Remarque : Le contrôleur (#88-552) est requis pour tout fonctionnement.
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